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蔡司Sigma系列是专为纳米级分析设计的高端场发射扫描电子显微镜,采用独特的Gemini电子光学镜筒设计,在低电压条件下实现卓越的高分辨率成像能力。该系列包含Sigma 360与Sigma 560两款主力型号,分别面向分析测试平台与高通量分析需求。
核心技术层面,Sigma系列搭载肖特基场发射电子枪,Sigma 560在30kV加速电压下可达到0.8纳米的分辨率,在1kV低电压条件下仍能保持1.3纳米的成像精度。Gemini镜筒采用电磁/静电复合物镜系统,配合80度锥形末级透镜设计,具备水冷恒温功能以确保热稳定性与成像重复性。系统支持100V至30kV的连续可调加速电压,放大倍率覆盖10倍至200万倍,可适配从宏观形貌到纳米结构的完整尺度观察。
探测器配置方面,Sigma系列配备In-Lens二次电子探测器、侧向二次电子探测器及四象限背散射电子探测器,可选配能量过滤栅极实现SE与BSE双模式切换。先进的EDS几何学设计支持双探测器配置,显著提升元素分析速度与精度。可变压力模式可在10至133帕范围内工作,无需喷镀导电层即可直接观察绝缘样品,配合VPSE探测器实现非导体材料的高质量成像。
样品台系统采用五轴电动优中心设计,X/Y方向行程130毫米,Z轴50毫米,倾斜角度负4度至70度,旋转360度连续可调,最大承载样品重量0.5千克。抽屉式舱门设计配合358毫米内径样品室,可容纳大型或不规则形状样品。系统集成的Plasma Cleaner等离子清洗装置可有效去除样品与腔室的碳氢污染。
智能化工作流是Sigma系列的显著特色。SmartSEM用户界面提供直观的四步操作流程,从参数设置到基于人工智能的结果获取全程向导式指引。ZEN core软件套件支持自动化颗粒分析、原位实验数据采集与材料微观结构量化分析,可自动执行加热拉伸实验并实时绘制应力应变曲线。图像导航软件与数字概览图像实现样品室内精确定位,支持大面积拼接成像与三维超微结构重建。
应用领域涵盖材料科学、生命科学、地质资源与工业检测四大方向。在材料研究中可进行断口分析、金相检测与失效分析;生命科学领域支持细胞组织超微结构观察;地质样品表征无需喷镀处理即可获取岩石矿物成分信息;工业质量检测方面通过自动化工作流确保结果可重复性并符合国际标准。
2026-03-25
2026-03-25
2026-03-25
2026-03-24
021-31404381
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